壓電式移相器（也稱做壓電納米定位臺），是基于壓電陶瓷驅動，并通過放大特性的柔性鉸鏈結構設計的壓電式微運動納米運動平臺，在電壓信號的控制下產生納米級步進運動，完成干涉中要求的微小移相運動。并且，在其內部配置閉環PID自適應控制，改善了壓電陶瓷的非線性，并降低環境所產生的干擾。

    移相干涉術(phase shifting interferometry)是一種利用干涉圖對光學元件進行測量的技術，其中核心部件為移相器，一般常用微位移執行器驅動，例如壓電式移相器，以其優良的測試精度而被廣泛用于各種現代干涉儀器中，并被廣泛地應用于各個領域。

    壓電式移動器是由壓電控制器所驅動，它所能移動的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關，并與其大小成線性關系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場影響等優點。

單個PZT壓電促動器式移相器（芯明天提供）

芯明天壓電式移相器（平臺式）

壓電式移相器的作用

    壓電式移相器的步進可達納米量級，用于驅動鏡片做平行運動 , 改變參考光的光程 ,從而在物光和參考光之間引入相移量。

四步移相干涉

壓電式移相器的設計

    壓電式移相器由兩部分組成，即壓電驅動源及微位移機械傳動機構。為消除機械傳動過程中的空回與摩擦，并保證對位移的高分辨率要求，芯明天利用不同剛度的彈性材料制成的撓曲鉸鏈結構的微形變及自動回復的特點，設計了放大式柔性鏈接機械，將驅動源：PZT壓電疊堆陶瓷的位移進行放大并率輸出。

壓電式移相器的PID控制

    壓電式移相器的PID控制（調節）即比例、積分、微分控制。它的基礎是比例控制，積分控制可消除穩態誤差，微分控制可加快大慣性系統響應速度以及減弱超調趨勢。它可與PSD等傳感形成閉環自適應調節。

芯明天壓電式移相器控制器

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