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    XYXYZ72壓電宏微復合平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動技術相結合的方式,滿足XY軸mm級大行程,并且實現Z軸nm級的高精度。《查看更多》
    
        
      
    
    
    
      
        
    
      
    
      
    
        
        
    三維壓電宏微復合平臺，可在XYZ三個方向產生運動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。《查看更多》
    
        
      
    
    
    
      
      	
    
    
      
      
        
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