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    產品名稱:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產品特點: X軸行程 18μm/ 軸、開 / 閉環可選、Z 向行程 、開 / 閉環可選、真空版本可選

    更新日期:2025-02-24

    P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺的詳細資料:

    P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產品特點

     X軸行程 18μm/ 軸

     開 / 閉環可選

     Z 向行程 8μm

     開 / 閉環可選

     真空版本可選

    技術參數:

    型號

    S-閉環

    K-開環

    P63.X18Z8S

    P63.X18Z8K

    單位

    運動自由度

    X、Z

    X、Z


    驅動控制

    2路驅動,2路傳感

    2路驅動


    標稱行程范圍(0 ~+120 V)

    X:16, Z:6

    X:16, Z:6

    μm±10%

    Max.行程范圍(0~+150 V)

    X:18, Z:8

    X:18, Z:8

    μm±10%

    傳感器類型

    SGS

    -


    閉/開環分辨率

    X0.6 Z0.2

    X0.2 Z0.1

    nm

    閉環線性度

    X:0.3, Z:1

    -

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.25

    -

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    ≤15

    ≤15

    μrad

    空載諧振頻率

    X2/Z1

    X2/Z1

    KHz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    8

    0.5

    ms±20%

    承載能力

    0.5

    0.5

    kg

    靜電容量

    X:1.8, Z0.8

    X:1.8, Z0.8

    μF±20%

    工作溫度范圍

    -20~80

    -20~80

    °C

    材質


    出線長

    1.5

    1.5

    m±10mm

    P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 尺寸圖

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