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    產(chǎn)品名稱:XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)

    產(chǎn)品型號(hào):

    產(chǎn)品報(bào)價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái),采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結(jié)合的方式,滿足XY軸mm級(jí)大行程,并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級(jí)的高精度。

    更新日期:2025-02-24

    XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的詳細(xì)資料:

    XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)

     XY宏動(dòng)毫米行程,適于鏡頭等位置橫向調(diào)整

     Z向微動(dòng)微米行程,適于光學(xué)聚焦調(diào)整

     Φ35mm中心通孔,適于透射光應(yīng)用

    技術(shù)參數(shù)

    型號(hào)XY72N81K13 XYZ72SN81K13XYZ72KN81K13單位
    運(yùn)動(dòng)自由度X YX Y ZX Y Z
    XY 宏動(dòng)行程±5±5±5mm
    Z 微調(diào)行程-8@150V8@150Vμm
    XY 最小位移增量<30<30<30nm
    Z 分辨率-0.30.1nm
    Z 微調(diào)傳感器-SGS-
    Z 線性度-0.25-%F.S.
    Z 重復(fù)定位精度-0.25-%F.S.
    Z 空載諧振頻率-2.52.5kHz
    承載能力1.5正立:500正立:500g
    側(cè)放:200側(cè)放:200
    中心通孔φ35φ35φ35mm
    重量-695695g
    壓電螺釘連接器RJ11RJ11RJ11

    XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)

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