壓電快反鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
壓電快反鏡采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的精密音圈電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，輸出力大、響應(yīng)快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結(jié)構(gòu)一體化設(shè)計(jì)技術(shù)，降低了質(zhì)量/慣量、減小了體積，具有優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性；采用了轉(zhuǎn)軸構(gòu)型優(yōu)化技術(shù)，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環(huán)帶寬。
高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡是為了滿足在光學(xué)成像和檢測(cè)系統(tǒng)中鏡子超快超精密定位的需求設(shè)計(jì)的。高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)，利用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，使偏轉(zhuǎn)鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優(yōu)點(diǎn)。
壓電快反鏡產(chǎn)品主要特點(diǎn)
亞微弧度的分辨率
超快響應(yīng)時(shí)間
柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
高的可靠性
高的帶寬
該偏轉(zhuǎn)鏡子只需要簡單的固定到偏轉(zhuǎn)臺(tái)上，可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個(gè)偏轉(zhuǎn)行程中可達(dá)到亞微弧度的分辨率。低的移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供的響應(yīng)時(shí)間和和速度。
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