P66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適于定位應用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等。

>>產品特點

• 一維X軸運動

• 位移行程68μm

• 承載可達6kg

• 開閉環可選

• 亞毫秒響應時間

>>典型應用

• 干涉/掃描

• 計量

• 質量保證測試

• 微加工/精密控制

• 光盤驅動測試

• 半導體技術

>>開閉環版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現非常高的線性度與重復度。

>>閉環線性度曲線

>>標準連接器

驅動與傳感的標準引線控制連接器分別為單芯LEMO連接器、四芯LEMO連接器，也可根據配套壓電控制器的接口類型定制連接器。

>>技術參數