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    定制壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

    更新時(shí)間: 2019-11-04

    P63系列壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為芯明天標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品之一,它的標(biāo)稱行程范圍為5.5μm/軸,一至三維運(yùn)動(dòng)自由度可選。

    P63.XYZ-D1是基于P63系列進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)及外觀尺寸的微調(diào)整,將XY向的標(biāo)稱位移增大到了16μm,以滿足使用者對(duì)XY向更大運(yùn)動(dòng)范圍的要求,既在成本上得到了很好的控制,又滿足了用戶使用的需求。

    微調(diào)后的P63.XYZ-D1依然保持小體積的特點(diǎn),尺寸僅L40×W40×H42mm,易于集成。XY軸標(biāo)稱行程為16μm,Z軸標(biāo)稱行程為6μm。

    P63.XYZ-D1閉環(huán)階躍時(shí)間圖(帶載)

    P63.XYZ-D1壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái),在帶載100g負(fù)載的情況下,滿行程階躍時(shí)間約9ms。

    P63.XYZ-D1技術(shù)參數(shù)

    型號(hào):P63.XYZS-D1

    運(yùn)動(dòng)自由度:XYZ

    標(biāo)稱行程范圍(0~120V):XY 16μm,Z 6μm

    行程范圍(0~150V):XY 18μm,Z 8μm

    傳感器類型:SGS

    閉環(huán)分辨率:0.6nm

    開環(huán)分辨率:XY0.2/Z0.1nm

    閉環(huán)線性度:XY0.3%F.S. , Z1%F.S.

    閉環(huán)重復(fù)度:0.5%F.S.

    俯仰/偏航/滾動(dòng):≤15μrad

    空載諧振頻率:XY2/Z1kHz

    閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間:8/0.5ms

    承載能力:0.5kg

    靜電容量:X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF

    Z軸閉環(huán)電壓與位移曲線

    注:實(shí)際施加到壓電平臺(tái)的電壓為輸入控制電壓的12倍。

    XY軸開環(huán)電壓與位移曲線

    注:實(shí)際施加到壓電平臺(tái)的電壓為輸入控制電壓的12倍。

    位移測(cè)量

    利用電容測(cè)微儀測(cè)量各軸運(yùn)動(dòng)行程。

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