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    壓電偏轉(zhuǎn)運動與控制系統(tǒng)

    更新時間: 2019-12-30

    P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸θx、θy的高速精密偏轉(zhuǎn)運動及Z 軸直線運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度,響應(yīng)時間可達毫秒量級。

    特點

    • θx, θy 偏轉(zhuǎn),Z 軸升降

    • 偏轉(zhuǎn)范圍達6mrad

    • 毫秒級響應(yīng)時間

    • 閉環(huán)定位精度高

    典型應(yīng)用

    • 圖像處理與穩(wěn)定

    • 光學(xué)捕獲

    • 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn)

    • 激光調(diào)諧

    • 光過濾/光開關(guān)

    • 光學(xué)/光束穩(wěn)定

    工作原理

    P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個壓電陶瓷機構(gòu)設(shè)計而成的,由三支壓電陶瓷驅(qū)動,以120°角平分放置,采用坐標變換,運動可以分不同機構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計除了可實現(xiàn)平臺的傾斜,也可實現(xiàn)平臺Z向的直線移動,可以用于校正光學(xué)路徑長度。如下圖所示,A、B、C表示測量的3點處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下。

    技術(shù)參數(shù)

    型號:P32

    運動自由度:θx, θy, Z

    θx, θy偏轉(zhuǎn)角度:5mrad@120V

    θx, θy偏轉(zhuǎn)角度:6mrad@150V

    Z向行程:30μm@120V

    Z向行程:37.5μm@150V

    傳感器類型:SGS

    閉/開環(huán)偏轉(zhuǎn)分辨率:0.1/0.05μrad

    閉/開環(huán)直線分辨率:1/0.5 nm

    閉環(huán)線性度:0.05%F.S.

    閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.02%F.S.

    空載諧振頻率:2kHz

    閉/開環(huán)空載階躍時間:5/2ms

    靜電容量:3.6μF/軸

    材質(zhì):

    重量:350g

    推薦控制器-E70壓電控制器

    E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設(shè)計保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。

    E70.D3S壓電控制器采用DC24V供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、開/閉環(huán)可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接,外部可設(shè)定控制功能,操作簡單便捷。

    技術(shù)參數(shù)

    型號:E70.D3S-I2

    功能:數(shù)字與模擬集成式控制器

    通道數(shù):3

    模擬輸入范圍:0-10V

    輸出電壓范圍:0-120V(可選 0-150V)

    第三通道恒壓輸出

    峰值電流:1.1A/通道

    平均電流:70mA/通道

    放大器帶寬:10kHz/通道

    輸出電壓紋波:5mV(2.2μF)

    PZT連接器:ECG.1B.314(LEMO)

    控制輸入連接器:SMB

    傳感器類型:SGS

    Sensor輸出連接器:EPG.0B.304(LEMO)

    傳感輸出紋波:10mV

    通信接口:RS-232/422、USB

    上位機軟件可二次開發(fā)

    工作溫度范圍:0-50℃

    尺 寸:168.5×134×45.5mm

    重 量:1.2kg

    供電電壓:24V DC1.5A(36W)

    具有過流保護

    全國統(tǒng)一客服電話:

    17051647888

    地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層
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