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    芯明天P17系列壓電掃描臺

    更新時間: 2020-01-06

    P17 系列

    P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

     

    特點

    • 位移187.5μm

    • 承載能力1kg

    • 通孔尺寸:60×60mm

    • 閉環重復定位精度高

    • 響應速度快

    應用

     

    • 圖像處理與穩定/掃描顯微

    • 干涉/ 計量

    • 表面檢測

    • 晶圓定位/微操作

    階躍時間

     

     

     

    大行程 穩定性好 響應速度快

     

    P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

    應用實例

     

    P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

    技術參數

     

    型號

    S-閉環

    K-開環

    P17.XY200S

    P17.XY200K

    單位

    運動自由度

    X、Y

     

    行程范圍(0~120V)

    150/軸

    μm

    行程范圍(0~150V)

    187.5/軸

    μm

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    60×60

    mm

    閉/開環分辨率

    8/5

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    %F.S

    閉環重復定位精度

    0.05/-

    %F.S

    俯仰/偏航/滾動

    <15

    μrad

    推/拉力

    40/15

    N

    運動方向剛度

    X0.2/Y0.2

    N/μm

    空載諧振頻率

    X240/Y400

    Hz

    閉/開環空載階躍時間

    30/5

    ms

    閉環空載

    工作頻率

    10%行程

    50

    Hz

    行程

    10

    承載能力

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/軸

    μF

    材質

    鋼、鋁

     

    重量

    660

    g

    是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

    特點

    • 位移187.5μm

    • 承載能力1kg

    • 通孔尺寸:60×60mm

    • 閉環重復定位精度高

    • 響應速度快

    應用

    • 圖像處理與穩定/掃描顯微

    • 干涉/ 計量

    • 表面檢測

    • 晶圓定位/微操作

    階躍時間

    大行程 穩定性好 響應速度快

    P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

    應用實例

    P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

    技術參數

     

    型號

    S-閉環

    K-開環

    P17.XY200S

    P17.XY200K

    單位

    運動自由度

    X、Y

     

    行程范圍(0~120V)

    150/軸

    μm

    行程范圍(0~150V)

    187.5/軸

    μm

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    60×60

    mm

    閉/開環分辨率

    8/5

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    %F.S

    閉環重復定位精度

    0.05/-

    %F.S

    俯仰/偏航/滾動

    <15

    μrad

    推/拉力

    40/15

    N

    運動方向剛度

    X0.2/Y0.2

    N/μm

    空載諧振頻率

    X240/Y400

    Hz

    閉/開環空載階躍時間

    30/5

    ms

    閉環空載

    工作頻率

    10%行程

    50

    Hz

    行程

    10

    承載能力

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/軸

    μF

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    鋼、鋁

     

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