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    XD602三維壓電位移臺,200μm/軸行程!

    更新時間: 2020-01-13

    XD602系列壓電納米定位臺是XYZ三維運動壓電平臺,它的行程范圍為200μm/軸,四個角位分別留有安裝固定孔位,易于機構安裝。負載安裝平臺留有10個M3固定位,適于不同結構負載的安裝。它的外觀較薄,非常易于系統集成。

    特點

    •XYZ三維運動   •行程200μm/軸   •超薄體積   •可選閉環版本獲取更高精度

    開環與閉環版本可選

    XD602壓電位移臺可以選擇開環或閉環版本,閉環版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器(SGS),配備在驅動機構的合適位置,它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。傳感器使用全橋配置以消除熱漂移,使得該納米定位臺實現較高的線性度與重復度。

    配套控制器

    XD602系列壓電位移臺,可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用,模擬與數字控制,體積小巧,高性能搭配。

    技術參數:

    型號:XD602

    運動方向:X/Y/Z

    標稱行程范圍(0 ~120 V):160µm

    行程范圍(0~150V):200µm

    傳感器類型:SGS

    開環分辨率:8nm

    閉環線性度:0.2%F.S.

    閉環重復定位精度:0.1%F.S.

    空載諧振頻率:270Hz

    加載100g負載諧振頻率:110Hz

    50%行程空載使用頻率:20Hz

    臺體材料:

    工作溫度范圍:0~50 ℃

    承載能力:300g

     

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