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    壓電納米定位臺應用領域

    更新時間: 2020-03-01

    壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現精密運動的壓電平臺。具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現納米級分辨率及定位精度。壓電納米定位臺在各精密運動及定位領域中發揮著至關重要的作用。 

     

    P66系列壓電納米定位臺

    P66系列是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統,行程可達60μm,分辨率可達0.7nm。非常適于定位應用,如干涉中光路徑長度修正、光纖端面檢測等,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。 

    P63系列壓電納米定位臺

    P63系列內部采用直驅機構,體積小巧且定位精度高,是為AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應用而設計的,具有超低慣性,響應時間可達0.3ms,可配置高精度閉環傳感器進行高分辨率高速掃描。

    P11系列壓電納米定位臺

    P11系列采用機構放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現100μm位移。控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺體積小、結構緊湊易于集成。

    應用領域

    光纖端面檢測

    光纖連接處出現問題是網絡故障的主要原因,因此光纖端面的檢測至關重要。壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運動,配合顯微鏡完成對光纖端面質量的干涉檢測。 

    納米切削

    壓電納米定位系統控制刀具緩慢向待加工件表面移動,直至接觸,并記錄位置,再次移動刀具至加工點,預切削后,再通過壓電納米定位系統控制刀具進行納米級車削。

    3D錫膏檢測

    錫膏測厚儀是一種利用光柵投影技術,將印刷在PCB板上的錫膏厚度、面積、體積等分布測量出來的設備。為了收集和高度有關的信息,在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺帶動光柵移動4次,移動一次拍攝一組圖像,終合成一組圖像顯示出測試結果.

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