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    邁克爾遜干涉儀中的壓電移相器

    更新時(shí)間: 2020-06-12

    作為一種高精密光學(xué)儀器,邁克爾遜干涉儀得到了非常廣闊的應(yīng)用,它既可用于測(cè)量光的波長(zhǎng),還可用于測(cè)量氣體或液體的折射率、玻璃的厚度、劈尖的傾斜角度以及測(cè)量距離等。

    邁克爾遜干涉儀的原理是將一束入射光經(jīng)過(guò)分光鏡分為兩束后,各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái),因這兩束光的頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調(diào)節(jié)干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現(xiàn),從而能夠形成不同的干涉圖樣。通過(guò)調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。該原理可用于研制多種測(cè)量?jī)x器。

    下圖為一款搭建好的邁克爾遜干涉儀系統(tǒng),該系統(tǒng)中采用了芯明天P63.Z壓電納米定位臺(tái)作為移相器,移相行程為 0~6.8μm,移相的分辨率可達(dá)0.1nm,滿行程6.8μm運(yùn)動(dòng)范圍的響應(yīng)速度為0.3ms,納米級(jí)步進(jìn)掃描的速度將更快。

    P63.Z壓電納米定位臺(tái)通常的使用方式為移動(dòng)面朝上放置,延縱向產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)位移,運(yùn)動(dòng)如下圖中所示。但在該系統(tǒng)中,采用的是橫向放置方式,延水平方向產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)位移。

    當(dāng)Z向壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平使用時(shí),它的受力情況會(huì)發(fā)生變化,在您訂購(gòu)時(shí),請(qǐng)務(wù)必告知,我們會(huì)根據(jù)使用情景對(duì)內(nèi)部做相應(yīng)調(diào)整,以更好適應(yīng)使用環(huán)境,提高可靠性。

    P66.Z納米定位臺(tái)的運(yùn)動(dòng)示意圖

    (注:為便于觀看,運(yùn)動(dòng)范圍已被放大)

    P63.Z壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù)

    型號(hào):P63.Z7S

    運(yùn)動(dòng)自由度:Z

    標(biāo)稱行程(0~120V):5.5μm

    行程范圍(0~150V):6.8μm

    傳感器類型:SGS

    閉/開(kāi)環(huán)分辨率:0.2/0.1nm

    閉環(huán)線性度:0.4%F.S.

    閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.2%F.S.

    俯仰/偏航/滾動(dòng):<5μrad

    推/拉力:10/2N

    運(yùn)動(dòng)方向剛度:1.5N/μm

    空載諧振頻率:2kHz

    閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:1.5/0.3ms

    滿行程閉環(huán)空載工作頻率:達(dá)200Hz

    承載:0.8kg

    靜電容量:0.8μF

    材質(zhì)

    重量:70g

    全國(guó)統(tǒng)一客服電話:

    17051647888

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