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    壓電物鏡定位器在激光切割上的應用

    更新時間: 2020-06-16
       壓電物鏡定位器專為物鏡聚焦顯微而設計,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測或觀測裝置可帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
      激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經過透鏡聚焦,再通過壓電物鏡定位器精確調整焦點的位置,使焦點準確的定位在晶圓待切割部位,使被切割部位溫度急速升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。
      壓電物鏡定位器可快速調節聚焦點即加工點的位置,使其在目標切割位置,聚焦行程可達110μm,分辨率可達2.5nm。該定位器為大負載Z軸運動壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦,直線性好,閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。
      納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到z快的階躍時間。它極其堅固的設計提供了非常快的穩定時間及掃描頻率,即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅動器的旋轉對稱排列及撓曲和杠桿元件的優化設計,使它具有較高的剛度,同時保證了優異的導向精度和動態性。
      壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡。壓電物鏡定位器可匹配多種標準鏡頭,也可以通過適配器與手動調節臺相結合使用。
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