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    超精密加工中的FTS快速刀具伺服系統

    更新時間: 2020-06-28

    精密、超精密加工技術在我國的應用已不再局限于航空航天或其他應用等少數部門,它已擴展到日常生活與應用中的許多領域,應用規模也有很大的增長。超精密加工是實現納米加工的有效方式,其中壓電快速刀具伺服系統是超精密加工中的核心器件,快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進給,在工件表面進行加工。此外也可加工各種回轉表面,如內圓柱面、內外圓錐面,螺紋、溝槽、端面和成型面

     

    芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發設計的,利用自身所具有的高響應頻率、高剛度、高精度等特性,驅動刀具在運動方向快速實現滿行程118微米微進給,能夠實現復雜面形工件或結構的精密加工,特別是適合刀具微進給、誤差補償、FTS微位移工作臺等應用。

    技術參數

    型號:P93.X100

    行程范圍(0~120V)95μm

    行程范圍(0~150V)118μm

    傳感器CAP/

    閉/開環分辨率15/20/10nm

    閉環線性度0.1/0.15%F.S.

    閉環重復定位精度0.03/0.05%F.S.

    俯仰/偏航/滾動<20μrad

    推/拉力 300/25N

    運動方向剛度3N/μm

    空載諧振頻率0.2kHz

    閉/開環空載階躍時間30/7ms

    承載能力20kg

    靜電容量15μF

    材質

    重量3500g

     

    驅動控制

    E01.D1系列壓電控制器具有輸出高功率、高電流特點,非常適于驅動電容較大的快速刀具定位臺。

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