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    P77.D9壓電式移相器

    更新時間: 2020-07-06

    P77系列壓電移相器是專為光學檢測移相應用而設計,行程范圍可達 50µm,負載能力可高達10kg。P77.D9為P77系列中的一款,它的中心通孔為φ140mm,移相行程可達32μm,分辨率達0.5nm,適用于各種光學鏡片、鏡頭等測量的臥式激光干涉儀,臥式承載達5kg

    芯明天壓電移相器以定制設計為主,依據客戶的設備應用量身定制。

     

    特點

    • 行程范圍:0~16/32μm

    • 通孔直徑:Φ140mm

    臥式承載:5kg

    • 可定制

     

    應用

    • 顯微成像

    • 表面檢測

    • 移相/干涉/計量

    • 精密定位

    • 移相器

    • 光學捕獲

     

    10V步進電壓與位移曲線

    應用示圖

    P77.D9壓電移相器是專為臥式激光干涉儀而設計,帶載大口徑鏡架等,亞納米級步進移相,為光學檢測設備提供高精密的核心組件,顯著提高光學檢測的精度。

     

    技術參數

    運動自由度:Z軸

    標稱行程范圍(0~120V):12.8或25.6μm

    行程范圍(0~150V):16或32μm

    通孔尺寸:φ140mm

    外形尺寸:210×210×56mm

    分辨率:0.5nm

    俯仰/偏航/滾動:<15μm

    空載諧振頻率:200Hz

    臥式承載能力:5kg

    靜電容量:14.4或28.8μF

    材質:鋼、鋁

    重量:4.2kg

    工作溫度范圍:-20~80℃

    控制:1或2路控制

    連接器:LEMO

    出線長:1.5m

     

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