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    P22系列一維θx壓電偏轉(zhuǎn)鏡

    更新時間: 2020-07-11

    P22系列一維θx壓電偏轉(zhuǎn)鏡

    P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)的壓電偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度,提供亞微弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)6mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

    特點

    • 一維θx偏轉(zhuǎn)

     偏轉(zhuǎn)角度達(dá)3mrad

    • 亞毫秒響應(yīng)時間

    • 閉環(huán)定位精度高

     

    應(yīng)用

    • 圖像處理與穩(wěn)定

    • 激光掃描

    • 隔行掃描、抖動

    • 光學(xué)濾波器/開關(guān)

    • 光束偏轉(zhuǎn)

    • 樣品檢測

     

    運動方式

    P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡如下圖所示安裝時,它產(chǎn)生上下俯仰運動,如下圖所示。

    安裝固定與鏡片粘接

    P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡的鏡片負(fù)載面為φ15mm的平面,鏡片通過粘接方式固定于該面,我們可為您將鏡片粘接好,便于您后續(xù)使用,收到壓電偏轉(zhuǎn)鏡后只需安裝,即可使用。

    P22.U3S壓電偏轉(zhuǎn)鏡在底端具有兩個用于固定的M3安裝螺紋孔。

    結(jié)構(gòu)原理與控制

    P22.U3S偏轉(zhuǎn)鏡的移動由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點,兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大,推薦使用芯明天差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

    一個輸出通道的壓電控制器即可驅(qū)動P22.U3S壓電偏轉(zhuǎn)鏡,可選用芯明天E53.D壓電控制器,體積小,功能全,具有閉環(huán)伺服控制功能,可通過外部模擬信號或計算機(jī)軟件進(jìn)行控制,操作便捷、易于集成。

    技術(shù)參數(shù)

    型號:P22.U3S

    運動自由度θx

    標(biāo)稱行程(0~120V)2.5mrad(≈ 520秒)

    行程范圍(0~150V)3mrad(≈ 600秒)

    傳感器類型SGS

    閉/開環(huán)分辨率0.3/0.1μrad

    閉環(huán)線性度0.2%F.S.

    閉環(huán)重復(fù)定位精度0.15%F.S.

    空載諧振頻率3kHz

    閉/開環(huán)空載階躍時間3/0.8ms

    空載頻率10%行程):100Hz

    空載頻率100%行程):40Hz

    靜電容量1.8μF

    材質(zhì)

    重量80g

    注:以上參數(shù)是采用 E00/E01系列壓電控制器測得。

     

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