配有電容位移測量驗證的壓電控制器
配有電容位移測量驗證的壓電控制器，如此之叫法，是因其本質為壓電控制器，但與通常壓電控制器不同的是，它額外配有電容式位移測量模塊，該模塊可用于測量微運動型產品的位移量，測量范圍一般為0~200μm。該壓電控制器的功能及使用方法如下。
功能1：可用于驗證閉環壓電納米定位系統的位移量
閉環壓電納米定位系統是可進行位移閉環伺服控制的壓電納米運動定位系統，它可對壓電促動器的運動位移量進行實時的反饋及控制，在這種系統中，配備的壓電控制器為閉環壓電控制器，它由功率放大模塊、閉環伺服模塊、供電模塊組成，可選配上位機控制模塊。
該閉環壓電控制器配備電容式位移測量模塊后，可對壓電納米定位系統自身的位移量進行測量。流程如下圖所示。
功能2：可用于驗證開環壓電納米定位系統的位移量
開環壓電納米定位系統是可進行基本運動控制的壓電納米運動定位系統，它可對壓電促動器的運動位移量進行控制，在這種系統中，配備的壓電控制器為開環壓電控制器，它由功率放大模塊、供電模塊組成，可選配上位機控制模塊。
該開環壓電控制器配備電容式位移測量模塊后，可對壓電納米定位系統自身的位移量進行測量。流程如下圖所示。
功能3：可作為壓電納米定位系統的閉環控制
在開環壓電納米定位系統中配備該電容式位移測量模塊，可作為壓電控制器的伺服控制，使得整個系統形成閉環控制。另外，集成該電容式位移測量模塊的壓電控制器，它也可以同“功能2”一樣，可對壓電納米定位系統自身的位移量進行測量。2種流程如下圖所示。
功能4：可測量其他運動設備的位移量
若您正使用的其他壓電運動設備，位移范圍在0~200μm范圍內，也可使用該電容式壓電控制器進行測量。
