作為微納操作系統中的一個末端執行機構，微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機構，將電壓轉化為鉗口的位移輸出，通過鉗口閉合實現微操作對象的夾持，張開實現微操作對象的釋放。

芯明天研發生產的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅動，采用柔性鉸鏈機械放大結構，具有分辨率高、響應速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達100微米，是微納操作系統中*的執行器件。

特點

• 夾持位移達100μm

• 亞毫秒級響應時間

• 諧振頻率達1.5kHz

技術參數

型號：XD002-D2

運動自由度：X

行程范圍（0~120V）：80μm

行程范圍（0~150V）：100μm

推/拉力：10/1N

運動方向剛度：0.04N/μm

空載諧振頻率：1500Hz

空載階躍時間：0.7ms

空載滿行程工作頻率：300Hz

大承載：0.05kg

靜電容量：0.18μF

材質：不銹鋼

重量：10g

驅動控制

E53.A壓電控制器非常適合驅動XD-002系列微動壓電鉗，即可保證快速的響應時間，又可保證壓電鉗的工作穩定性。同時E53系列壓電控制器的外形非常緊湊，體積小巧，易于集成。

定制版壓電鉗

夾持行程：500μm@150V

靜電容量：1.6μF

空載諧振頻率:180Hz

材質:鈦合金

夾持行程：1000μm@150V

靜電容量：3.4μF

空載諧振頻率：110Hz

材質：鈦合金

夾持行程：1000μm@150V

靜電容量：3.6μF

空載諧振頻率：90Hz

重復定位精度：0.5%F.S.

位移傳感器：有

材質：鈦合金