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    大行程三維精密壓電平臺

    更新時間: 2021-05-06

    P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動掃描臺,平臺采用機構放大設計原理,中心具有通孔,非常適用于近場掃描、共焦顯微等應用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm,Z軸直線運動行程可達800μm。

     

    中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36"便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內部采用有限元分析(FEA)優化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動最小化。開環、閉環可選,真空版本可選。

    特點

     XYZ三維直線運動

    • XY行程500μm,Z向行程800μm

     適用于物鏡的三維定位調節

     可定制真空版本

     

    開閉環曲線

    P12.XY500Z800 XY軸電壓位移開閉環曲線。

     

    技術參數

    型號P12.XY500Z800

    運動自由度XYZ

    XY行程范圍(0~150V)500μm/軸

    Z行程范圍(0~150V)800μm

    閉環傳感器類型SGS

    XY軸/開環分辨率20/5nm

    Z軸/開環分辨率30/8nm

    XY靜電容量28.8μF/軸

    Z靜電容量43.2μF

    承載能力250g

    重量1000g(不含線)

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