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    S38系列小體積、高動態壓電偏轉鏡

    更新時間: 2021-06-07

    S38系列壓電偏轉鏡為小體積的θx、θy二維偏轉運動平臺,具有非常小巧的外形結構同時能夠帶動鏡片快速響應,提供頂端面的高精度角度運動,與其他執行器相比,柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供更高的加速度,使階躍響應時間在亞毫秒范圍,可帶載小型鏡片做快速二維光路偏轉調節,是光路調整、激光掃描等應用的理想選擇。

     

    特性

    · θx、θy 二維偏轉

    · 可選行程1.5或3mrad

    · 小體積,外徑僅20mm

    · 高諧振頻率

     

    高動態、高穩定性、閉環高精度

    S38偏轉鏡結構緊湊,內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電促動器,集成在柔性鉸鏈導向系統,提供了更好的性能及可靠性。在機械結構的合適位置采用應變傳感器來得到定位精度,同時他們提供了較高的帶寬并向控制器發送定位反饋信號,傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優質的穩定性。

     

    /閉環曲線

    S38.T1開/閉環曲線。

     

    閉環線性度曲線

    S38.T1S閉環線性度曲線。

    技術參數

    型號:S38.T1

    運動自由度:θx、θy

    行程范圍@120V:1.2mrad/軸

    行程范圍@150V:1.5mrad/軸

    閉環傳感器:SGS

    閉/開環分辨率:0.5/0.02μrad

    閉環線性度:0.3%F.S.

    閉環重復定位精度:0.1%F.S.

    空載諧振頻率:7000Hz

    靜電容量:1.6μF/軸

    重量:50g(不含線)

     

    型號:S38.T2

    運動自由度:θx、θy

    行程范圍@120V:2.4mrad/軸

    行程范圍@150V:3mrad/軸

    閉環傳感器:SGS

    閉/開環分辨率:1/0.04μrad

    閉環線性度:0.4%F.S.

    閉環重復定位精度:0.2%F.S.

    空載諧振頻率:2000Hz

    靜電容量:3.6μF/軸

    重量:60g(不含線)

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