什么是宏微復合式壓電移相器？

壓電式移相器介紹

壓電式移相器（也稱壓電陶瓷移相器），是基于壓電陶瓷設計并通過驅動壓電陶瓷產生微運動來實現移相功能的，在電壓信號的控制下產生納米級步進運動，完成干涉中要求的微小移相運動。

移相干涉技術(phase shifting interferometry)是一種利用干涉圖對光學元件進行測量的技術，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運動器件驅動實現。壓電式移相器，以其優良的測試精度而被廣泛用于各種現代干涉儀器中，并被廣泛地應用于各個領域。

壓電式移相器是由壓電控制器所驅動，它所能移動的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關，并與其大小成線性關系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場影響等優點。

移相器原理作用

壓電式移相器的步進可達納米量級，用于驅動鏡片做平行運動,改變參考光的光程,從而在物光和參考光之間引入相移量。

芯明天壓電移相器介紹

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器的內部是由壓電陶瓷驅動，它由直流電壓信號來控制，在150V電壓下產生的位移約0.7µm，可用于快速步進移相應用。壓電陶瓷移相器的驅動電壓上限為800V，在此電壓下，產生的位移約3.73µm。

該壓電移相器是專為移相應用而設計，可通過電壓控制進行超快速（µs級）步進調節，同時，可通過手動調節θx、θy兩軸的偏轉角度，角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與移相步進結合，使其更方便于像移、干涉測量等應用。

產品特點

•手動與壓電調節相結合

•150V電壓驅動下，移相行程約0.7µm

•驅動電壓上限為800V

•移相行程上限可達3.73µm

•可手動調節θx、θy兩軸偏轉角度

•手動調節角度范圍為0~±4°/軸

•標準可帶載鏡片直徑35mm，可定制

壓電式移相器設計

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器由兩部分組成，壓電陶瓷驅動與手調微動螺釘。為保證對位移的高分辨率要求，壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅技術結構，確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出，而不受外部機械結構的影響。手調微動螺釘則采用高精密螺絲和襯套，保證了手動調節的精度。

鏡片結構可調

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器鏡片固定結構采用可更換設計，可以針對不同應用需求更換鏡片固定結構尺寸，以適合不同鏡片大小的使用。

手動微調結構

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器θx、θy兩軸偏轉，采用手動微調螺釘操作，使用方便快捷，調整角度可達0~±4°/軸。

應用領域

芯明天壓電陶瓷移相器可應用于快速納米級步進、移相、光路調節、干涉測量、快速步進調節等領域。

參數性能

型號：ZT35H80K

運動自由度：壓電驅動X

手調θx、θy

壓電直線行程：0.7μm@150V

3.73μm@800V

手調θxθy偏轉角度：±4°/軸

空載諧振頻率：47.8kHz

靜電容量：18nF

標準可安裝鏡片直徑：Φ35mm

驅動電壓范圍：0~800V

重量：175g

壓電陶瓷的電壓與位移曲線

移相功能主要通過內部壓電陶瓷實現，壓電陶瓷電壓位移曲線如下圖：

定制服務

芯明天可提供各種用于移相、步進、干涉、計量等的壓電式移相器，例如超小體積型、帶有通光孔型、大負載型、大口徑式等等，可*根據客戶實際應用定制設計。