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    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺

    更新時間: 2024-08-06
    P66系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源,內部采用直驅或放大機構設計的1~3維運動的壓電位移平臺,可達毫秒級響應、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適用于定位應用,如干涉中光路徑長度修正,顯微或掃描應用中的樣品定位等。
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    1~3維P66系列壓電納米定位臺

    P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺。該產品采用直驅結構,X向最大位移2.4μm,開環分辨率可達0.5nm,承載可達2kg,諧振頻率可達12kHz,它尺寸為70mm×85mm×20.5mm,體積非常小巧,定制航空連接器,可在真空環境下使用,芯明天可定制真空工作環境使用產品達2E-11mbar。P66.X2K-B1產品外觀如下圖所示。
    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺

    產品特點



    一維X向運動
    精度可達0.5nm
    承載可達2kg
    諧振頻率可達12kHz
    毫秒級響應時間
    定制采用航空連接器
    真空版本,可選配閉環版本

    產品應用



    干涉
    顯微/掃描
    光學測量
    微加工/精密控制
    計量

    技術參數



     

    型號
    P66.X2K-B1Z
    運動自由度
    X
    驅動控制
    1路驅動
    標稱行程范圍(0~120V)
    1.9μm
    行程范圍(0~150V)
    2.4μm
    開環分辨率
    0.5nm
    空載諧振頻率
    12kHz
    帶載諧振頻率
    10kHz@20g
    階躍時間
    2ms
    靜電容量
    0.58μF
    工作溫度范圍
    -20~80℃
    承載能力
    2kg
    材質
    不銹鋼、鋁合金
    重量
    310g

     


    配套控制器



    E53.C1K非常適用于驅動P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺。它是一款小體積單通道壓電控制器,24VDC/1.5A供電,采用模擬或數字控制,通信接口為USB/RS-422/RS-232,帶寬10kHz,尺寸為148mm×27.5mm×80mm,體積小巧,易集成。

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