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    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺
    
    
    
	
    更新時間： 2024-08-06 
    
    
    P66系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源，內部采用直驅或放大機構設計的1~3維運動的壓電位移平臺，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適用于定位應用，如干涉中光路徑長度修正，顯微或掃描應用中的樣品定位等。
    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺
    1~3維P66系列壓電納米定位臺

    P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺。該產品采用直驅結構，X向最大位移2.4μm，開環分辨率可達0.5nm，承載可達2kg，諧振頻率可達12kHz，它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，定制航空連接器，可在真空環境下使用，芯明天可定制真空工作環境使用產品達2E-11mbar。P66.X2K-B1產品外觀如下圖所示。
    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺
    產品特點


    一維X向運動
    精度可達0.5nm
    承載可達2kg
    諧振頻率可達12kHz
    毫秒級響應時間
    定制采用航空連接器
    真空版本，可選配閉環版本

    產品應用


    干涉
    顯微/掃描
    光學測量
    微加工/精密控制
    計量

    技術參數


     
                
                
    型號
    		            
    P66.X2K-B1Z
    		        
            
                
    運動自由度
    		            
    X
    		        
            
                
    驅動控制
    		            
    1路驅動
    		        
            
                
    標稱行程范圍（0~120V）
    		            
    1.9μm
    		        
            
                
    行程范圍（0~150V）
    		            
    2.4μm
    		        
            
                
    開環分辨率
    		            
    0.5nm
    		        
            
                
    空載諧振頻率
    		            
    12kHz
    		        
            
                
    帶載諧振頻率
    		            
    10kHz@20g
    		        
            
                
    階躍時間
    		            
    2ms
    		        
            
                
    靜電容量
    		            
    0.58μF
    		        
            
                
    工作溫度范圍
    		            
    -20~80℃
    		        
            
                
    承載能力
    		            
    2kg
    		        
            
                
    材質
    		            
    不銹鋼、鋁合金
    		        
            
                
    重量
    		            
    310g
    		        
        
     

    配套控制器


    E53.C1K非常適用于驅動P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺。它是一款小體積單通道壓電控制器，24VDC/1.5A供電，采用模擬或數字控制，通信接口為USB/RS-422/RS-232，帶寬10kHz，尺寸為148mm×27.5mm×80mm，體積小巧，易集成。
    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺
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