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壓電移相器在全息干涉計(jì)量術(shù)中的應(yīng)用

更新時(shí)間： 2018-08-16

壓電移相器在全息干涉計(jì)量術(shù)中的應(yīng)用

　　在全息干涉計(jì)量術(shù)中，需要確定物體位移及形變的大小及方向，在實(shí)時(shí)檢測(cè)過(guò)程中還需要對(duì)物體位移、形變的方向做出即時(shí)、迅速的判斷。而這種判斷的方法有很多，但有的較麻煩、有的計(jì)算復(fù)雜、有的需要特殊裝置，還有的看上去非常不直觀(guān)等等，這都給全息干涉計(jì)量帶來(lái)很多不便。

　　而壓電移相器恰恰能解決以上所有問(wèn)題。

　　壓電移相器在實(shí)時(shí)全息干涉計(jì)量術(shù)中，為了判別物體位移、形變的方向，在參考光路上放置一個(gè)壓電移相器，它實(shí)際上是一面利用壓電效應(yīng)控制其空間位置的小反射鏡，我們使用這個(gè)移相器，鏡面直徑可達(dá)106mm，控制電壓在0-120V范圍內(nèi)調(diào)節(jié)反射鏡前后移動(dòng)20微米或更大。利用壓電移相器來(lái)改變參考光光程，并根據(jù)此時(shí)干涉條紋的動(dòng)向來(lái)判斷物體位移、形變的方向，此方法簡(jiǎn)單、方便、直觀(guān)，能迅速地對(duì)物體位移、形變的方向作出可靠的判斷。

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