壓電機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的命名由它的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力源、結(jié)構(gòu)原理及功能相結(jié)合而來(lái)的。“壓電”指的是它的驅(qū)動(dòng)源，即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅(qū)動(dòng)源產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)；“機(jī)構(gòu)放大”則是通過(guò)柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)PZT壓電陶瓷位移的放大；“促動(dòng)器”則是它的功能，它的移動(dòng)端可以產(chǎn)生促動(dòng)的作用，即用來(lái)帶載物體進(jìn)行微位移調(diào)節(jié)。壓電機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器配備有機(jī)械固定安裝接口，可與外部負(fù)載或安裝面間直接通過(guò)螺紋進(jìn)行連接。它也可以驅(qū)動(dòng)外部機(jī)械結(jié)構(gòu)，再由機(jī)械結(jié)構(gòu)完成運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)。機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器與直驅(qū)壓電促動(dòng)器比較
與直驅(qū)壓電促動(dòng)器相比，機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的最大特點(diǎn)是在相同驅(qū)動(dòng)源下，機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)更大的位移輸出。而機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的重復(fù)精度和分辨率與直驅(qū)式壓電促動(dòng)器一樣優(yōu)良，可達(dá)到納米級(jí)。
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器也可承受一定拉力，也可應(yīng)用在低動(dòng)態(tài)應(yīng)用中。但同樣條件下，機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的出力要比直驅(qū)式壓電促動(dòng)器的小一些，這是因?yàn)橥ㄟ^(guò)放大機(jī)構(gòu)將位移放大后，相應(yīng)的損失了一定的出力。
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的種類(lèi)
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器可根據(jù)運(yùn)動(dòng)方向分為兩個(gè)系列：A型（收縮型）和R型（膨脹型）。通常情況下，A型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器在上電時(shí)位移開(kāi)始收縮，而R型則在上電時(shí)位移開(kāi)始伸長(zhǎng)。若下端固定情況下作為Z向使用時(shí)，A型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器則在上電時(shí)產(chǎn)生下降位移，而R型則產(chǎn)生上升位移。
根據(jù)是否配置傳感器，機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器又分為開(kāi)環(huán)（無(wú)定位反饋傳感器）和閉環(huán)（集成定位反饋傳感器）版本。開(kāi)環(huán)下，PZT壓電促動(dòng)器的分辨率是無(wú)限高的，只受控制設(shè)備的噪聲的限制，但是由于壓電陶瓷的遲滯和蠕變特性，使其位移重復(fù)精度和位移穩(wěn)定精度較低。但閉環(huán)版本壓電促動(dòng)器，可消除遲滯和蠕變。同時(shí)，閉環(huán)版本可通過(guò)芯明天壓電控制器形成閉環(huán)控制，可實(shí)時(shí)讀取、跟蹤位移值，并可進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)。
機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器簡(jiǎn)介
機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器是通過(guò)機(jī)械放大結(jié)構(gòu)，將預(yù)載的低壓壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移，進(jìn)行放大輸出的促動(dòng)器。機(jī)械放大結(jié)構(gòu)為橢圓形機(jī)械殼體，它的材料一般為鋼，它對(duì)壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預(yù)緊力外，也對(duì)疊堆陶瓷起到保護(hù)作用，使其免于承受拉力，過(guò)大的拉力對(duì)壓電疊堆陶瓷會(huì)產(chǎn)生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機(jī)械放大結(jié)構(gòu)也為用戶(hù)提供了易于集成的機(jī)械接口。
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器基本結(jié)構(gòu)
機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器的基本結(jié)構(gòu)如下圖所示，它的內(nèi)部集成PZT壓電陶瓷，外部為金屬柔性鉸鏈，上下端為移動(dòng)端，并帶有螺紋孔，可用于本身的安裝和負(fù)載的安裝。
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器運(yùn)動(dòng)原理
壓電疊堆陶瓷沿著主軸即長(zhǎng)軸方向產(chǎn)生形變位移，而橢圓形機(jī)械結(jié)構(gòu)沿著短軸方向?qū)⑽灰七M(jìn)行放大輸出，即機(jī)構(gòu)放大壓電促動(dòng)器利用機(jī)構(gòu)放大原理，將壓電陶瓷橫向伸長(zhǎng)位移放大到軸向位移輸出。橢圓形殼體分為內(nèi)橢圓結(jié)構(gòu)（R型）與外橢圓結(jié)構(gòu)（A型），產(chǎn)生的位移方向分別為X向膨脹、X向收縮。
部分機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器展示
小體積機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器
80N出力
66μm行程
2700Hz空載諧頻
定制A型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器
R型小體積機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器
41μm位移
125N出力
4100Hz空載諧頻
大出力A型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器
540N出力
95μm行程
350Hz空載諧頻
大位移機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器
25N出力
400μm行程
370Hz空載諧頻
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器標(biāo)品基本參數(shù)
A型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器（外橢圓結(jié)構(gòu)）
R型機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器（內(nèi)橢圓結(jié)構(gòu)）
機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器因其非常小的體積、較大的位移以及毫秒級(jí)快速響應(yīng)，經(jīng)常被用作光開(kāi)關(guān)、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)等應(yīng)用。此外，機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器的應(yīng)用范圍非常的廣泛，在下方舉例的應(yīng)用中都會(huì)用到壓電機(jī)構(gòu)放大促動(dòng)器。探針掃描、光學(xué)透鏡的定位、光開(kāi)關(guān)、快門(mén)/快門(mén)防抖、微掃描、晶片測(cè)試、天文學(xué)、聚焦定位、激光腔調(diào)諧、光纖的耦合和形變、FBG（光纖布拉格光柵）的形變、斬波器、干涉儀、PDP晶體切割、調(diào)制器等。光纖拉伸、工具定位、取放工具、金剛石車(chē)削、橢圓活塞加工、阻尼、動(dòng)態(tài)控制、新一代超聲波或聲波振動(dòng)、NDT、器件疲勞度監(jiān)測(cè)等。比例閥、泵、測(cè)流技術(shù)、噴墨技術(shù)、注射器、液滴發(fā)生器等。
機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器采用先進(jìn)的技術(shù)和安全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)而成，為了您的自身安全及產(chǎn)品的正確使用，使用時(shí)請(qǐng)注意以下幾點(diǎn)。溫度改變和壓力都會(huì)給壓電促動(dòng)器充電，與控制器斷開(kāi)連接的一段時(shí)間壓電促動(dòng)器也會(huì)保持帶電狀態(tài)，所以操作者在使用時(shí)要注意：· 不要擅自拆卸機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器；· 在安裝以前給機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器進(jìn)行放電，這個(gè)可以通過(guò)和控制器連接實(shí)現(xiàn)；· 使用前首先檢查本產(chǎn)品的連接線(xiàn)是否完好，產(chǎn)品及控制器是否進(jìn)行了有效的接地保護(hù)，操作過(guò)程中應(yīng)嚴(yán)格規(guī)范操作，上電后不要用手觸碰產(chǎn)品（最高可達(dá)150V以上電壓），以防發(fā)生危險(xiǎn)。為了防止不當(dāng)操作對(duì)產(chǎn)品造成損壞，使用時(shí)應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：· 機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器盡量在無(wú)塵、無(wú)油、無(wú)潤(rùn)滑劑的環(huán)境中使用；· 建議負(fù)載不要超過(guò)本產(chǎn)品的承載能力，裝載時(shí)注意扭力不要過(guò)大，不要撬或扭轉(zhuǎn)負(fù)載面鉸鏈，以免損傷結(jié)構(gòu)；· 當(dāng)出現(xiàn)異常情況應(yīng)該立即關(guān)閉相關(guān)部分；· 機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器長(zhǎng)期使用建議使用電壓為0~120V；· 請(qǐng)勿對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行拆解，以免造成產(chǎn)品損壞；· 避免拉伸和彎曲電纜接口，防止對(duì)電纜造成損壞；· 使用我公司提供的專(zhuān)用電纜連接壓電促動(dòng)器和控制器；· 不能隨便使用電纜延長(zhǎng)線(xiàn)，如需要更長(zhǎng)電纜請(qǐng)聯(lián)系我司銷(xiāo)售人員。安裝前首先要進(jìn)行安全檢查，如連接線(xiàn)有無(wú)破損、斷線(xiàn)，驅(qū)動(dòng)電源有無(wú)接地保護(hù)等。機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器安裝步驟如下：2）連接負(fù)載，要求負(fù)載不要超過(guò)促動(dòng)器所能承受的最大負(fù)載；3）將機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器安裝在測(cè)量平臺(tái)上或通過(guò)光學(xué)平臺(tái)轉(zhuǎn)接座固定安裝在測(cè)量平面上，請(qǐng)根據(jù)結(jié)構(gòu)尺寸圖選擇合適螺栓進(jìn)行固定安裝；4）將產(chǎn)品連接線(xiàn)與控制器連接起來(lái)。為了防止機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器在使用過(guò)程中損壞，需要注意以下幾點(diǎn)：· 不要使用超過(guò)參數(shù)表規(guī)定的電壓范圍來(lái)驅(qū)動(dòng)壓電驅(qū)動(dòng)器。· 不要跌落壓電陶瓷、避免任何形式的機(jī)械撞擊。· 有預(yù)緊力的壓電促動(dòng)器可以承受一定拉力（并不是壓電促動(dòng)器收縮產(chǎn)生），但是不能承受剪切力、扭矩和彎矩。這些情況可能會(huì)對(duì)促動(dòng)器內(nèi)部的壓電陶瓷產(chǎn)生損壞。
