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    公司名稱(chēng):哈爾濱芯明天科技有限公司
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    產(chǎn)品名稱(chēng):S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)

    產(chǎn)品型號(hào):

    產(chǎn)品報(bào)價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

    更新日期:2025-02-23

    S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)的詳細(xì)資料:

    S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

    特性:

    •  θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng) 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇 80×80mm大通孔 分辨率高 外形超薄

    典型應(yīng)用

    • 光束掃描 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

    • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)


    • 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整

    應(yīng)用實(shí)例
       S54系列壓電偏擺臺(tái)以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。

    閉環(huán)傳感精度高

    S54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化,使角度偏移達(dá)到小,無(wú)空回、無(wú)摩擦。

    采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad,分 辨率高達(dá)0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。

    臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計(jì)量、定位等應(yīng)用的選擇。

    負(fù)載大鏡片
    S54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透 射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。

    S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)參數(shù):


    型號(hào)

    尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

    S54.T2S 

    S54.T2K


    單位

    運(yùn)動(dòng)自由度

    θx, θy


    標(biāo)稱(chēng)偏擺角度 (0~+120V)

    ±0.8/

    mrad±20%

    大偏擺角度 (-20~+150V)

    ±1.1/

    mrad±20%

    傳感器類(lèi)型

    SGS/-


    閉/開(kāi)環(huán)偏擺分辨率

    0.25/0.05

    μrad

    閉環(huán)線(xiàn)性度

    0.2/-

    %F.S.

    閉環(huán)重復(fù)定位精度

    0.1/-

    %F.S.

    推/拉力

    40/8

    N

    運(yùn)動(dòng)方向剛度

    0.5

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    300

    Hz±20%

    閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

    20/3.5

    ms±20%


    閉環(huán)空載 工作頻率

    10%行程

    50


    Hz±20%

    行程

    15

    大承載

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/

    μF±20%

    材質(zhì)

    鋁、鋼


    重量

    510

    g±5%

    以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。


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