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    產品名稱:N20/P21壓電偏擺/旋轉臺

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:N20/P21壓電偏擺/旋轉臺為一維θz旋轉臺,產品體積小巧,大旋轉角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉運動。

    更新日期:2025-02-24

    N20/P21壓電偏擺/旋轉臺的詳細資料:

    S20/S21壓電偏擺/旋轉臺為一維θz旋轉臺,產品體積小巧,大旋轉角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉運動。

    特性:

    • θz旋轉

    大旋轉角度8.5mrad

    閉環定位精度高

    響應速度快

    體積小巧

    典型應用

    光路調整 干涉

    光束掃描 計量

    應用實例

       S21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用, 組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉定位操作。

    小體積、高分辨率、高精度

         S21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理,可以實 現大8.5mrad的旋轉,體積小巧、結構緊湊,尺寸僅 為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉設備中。

       采用壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用柔性鉸鏈機 構,無摩擦、無回差,可以實現0.2μrad的分辨率。內 置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精 度,在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

    驅動控制方式

       S21為θz一維壓電旋轉臺,單通道壓電控制器即可驅動控制,閉 環版本P21配套E01系列閉環控制器,實現θz高精度旋轉定位控制。

    N20/P21壓電偏擺/旋轉臺技術參數:


    型號

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

    S21.R7S S21.R7K


    單位

    運動自由度

    θz


    標稱旋轉角度 (0~+120V)

    6

    mrad±20%

    大旋轉角度 (-20~+150V)

    8.5

    mrad±20%

    傳感器類型

    SGS/-


    閉/開環分辨率

    0.4/0.2

    μrad

    閉環線性度

    0.5/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.2/-

    %F.S.

    推/拉力

    10/5

    N

    運動方向剛度

    1

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    1.1

    kHz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    30/1.5

    ms±20%


    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    50


    Hz±20%

    行程

    15

    大承載

    2

    kg

    靜電容量

    1.8

    μF±20%

    材質


    重量

    105

    g±5%

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。



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