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    產(chǎn)品名稱:E01.Cap 電容式測微儀

    產(chǎn)品型號:

    產(chǎn)品報價:

    產(chǎn)品特點:E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。

    更新日期:2025-02-24

    E01.Cap 電容式測微儀的詳細資料:


    E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。

    原理

    它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目 標(biāo)形成的兩個電極,采用保護環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬 時,傳感器仍是線性的。


    E01.Cap 電容式測微儀技術(shù)參數(shù)

    型號

    E09.Cap

    單位

    量程范圍

    0~200

    μm

    線性度

    ±0.1

    μm

    靜態(tài)分辨率

    2.5

    nm

    動態(tài)分辨率(1kHz)

    100

    nm

    傳感器直徑

    10

    mm

    小目標(biāo)直徑

    10

    mm

    靜態(tài)重復(fù)性

    5

    nm

    信號溫度穩(wěn)定性

    < 0.005

    %FSO/℃

    長期穩(wěn)定性

    < 0.04

    %FSO/ 月

    帶寬

    2

    kHz(-3dB)

    工作溫度范圍

    +10~+50

    環(huán)境濕度

    <85

    %

    電壓輸出范圍

    0~+10

    V

    供電電壓

    220VAC 50Hz±10%


    傳感器線長

    1.6

    m

    板卡尺寸:長×高× 深

    35×130×180

    mm

    機箱尺寸:長×高× 深

    280×170×360

    mm


    特性:

    • 模塊化設(shè)計、自由組拼

    • 可提供單個板卡模塊

    • 高分辨率 • 模擬輸出

    • 非接觸式測量


    應(yīng)用:

    • Z向水準(zhǔn)測量 •  X, Y向定位

    • 軸向振動測量

    • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器



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