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    產(chǎn)品名稱:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

    產(chǎn)品型號:P84.X 一維X軸 110μm

    產(chǎn)品報價:

    產(chǎn)品特點:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺:
    P84為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節(jié)。

    更新日期:2025-02-24

    P84.X 一維X軸 110μmP84.X一維X軸壓電宏微復合臺的詳細資料:

    P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

    宏微復合機構是通過宏動調節(jié)測微頭與壓電微動調節(jié)機構完成大范圍精密定位需求。

    通過測微頭與壓電微調機構相結合的方式實現(xiàn)宏微復合機構,宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺

     

    P84.X一維X軸壓電宏微復合臺技術參數(shù)

    型號

    P84.X100S

    P84.X100K

    單位

    運動自由度

    X

    X

     

    行程范圍

    13mm+110µm

    13mm+110µm

    粗調+精調

    平直度

    <3

    <3

    µm/13mm

    重量

    400

    400

    g±5%

    殼體材料

    鋼、鋁

    鋼、鋁

     

    外形尺寸(長×寬×高)

    140×90×23

    140×90×23

    mm×mm×mm

    手動調節(jié)部分-千分尺

    粗調行程范圍

    13

    13

    mm

    粗調分辨率(千分尺)

    10

    10

    µm

    導軌

    交叉滾柱導軌

    交叉滾柱導軌

     

    驅動方式

    螺紋副(分厘卡)

    螺紋副(分厘卡)

     

    千分尺靈敏度

    <2

    <2

    µm

    臺面尺寸

    65×65

    65×65

    mm×mm

    千分尺讀數(shù)

    10

    10

    (微米/格)

    千分尺螺距

    0.5

    0.5

    mm/rev.

    壓電驅動精調部分-壓電驅動

    精調行程范圍

    0~120 V,Nominal

    80

    80

    µm±20%

    -20~150 V,Max

    110

    110

    µm±20%

    傳感器類型

    SGS

    -

     

    步進/分辨率

    7

    2.5

    nm, typ.

    閉環(huán)線性度(壓電驅動)

    0.1

    -

    %F.S.

    重復定位精度

    0.05

    -

    %F.S.

    運動方向推力

    16

    16

    N

    剛度

    1

    1

    N/µm±20%

    承載能力(Z向)*

    500

    500

    g

    工作溫度范圍**

    -20~80

    -20~80

    °C

    靜電容量

    1.8

    1.8

    µF±20%

    出線長

    1.5

    1.5

    m±10mm

    傳感/電壓連接器

    LEMO

    LEMO

     

     

    注:壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程,大驅動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在
    0~120V。

    以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設備有關。參數(shù)更新不予通知,具體請與銷售工程師聯(lián)系確認。

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