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    產品名稱:N31系列三維壓電馬達

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:N31系列三維壓電馬達,可在XYZ三個方向運動,配備有增量式編碼器進行閉環控制。內部采用PZT壓電式驅動,每軸運動行程可選25、50、100mm,可達納米級分辨率。

    更新日期:2025-02-24

    N31系列三維壓電馬達的詳細資料:

    N31系列三維壓電馬達

    三維閉環壓電馬達可在XYZ三個方向運動,配備有增量式編碼器進行閉環控制。內部采用PZT壓電式驅動,每軸運動行程可選25、50、100mm,可達納米級分辨率。

    產品特點

     行程25、50、100mm/軸可選

     納米級分辨率

     增量式編碼器

     承載達2.5kg

    產品應用

     超分辨成像樣品移動

     微納裝備及制造

     掃描電鏡(SEM)樣品操縱

     納米聚焦與掃描

     主動光學

     集成電路制造與檢測

     顯微及納米CT

     大范圍電子束直寫(EBL)

     高真空樣品精度對準及調姿


    N31系列三維壓電馬達


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