1.一維壓電納米定位臺介紹

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺，X 軸，XY 軸，XYZ 軸多維壓電平移臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下，機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍；直驅平臺的響應速度要比機構放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍zui大可達 300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應時間。在精密定位領域中發揮著至關重要的作用，且應用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

2.一維壓電納米定位臺系列介紹

P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，P11.Z為一維壓電納米定位臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體的結構設計，多維運動無耦合。 機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現110μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩定 性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結構緊湊 易于集成。

 3.一維壓電納米定位臺特性

      • 一維Z軸運動                   • zui大行程110μm，可選擇210μm、320μm版本                   • 體積小巧                   • 毫秒級響應時間                   •  納米級定位精度

外觀形狀	產品運動示意圖	放大機構式驅動示意圖

大行程、閉環版本定位精度高、響應速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
P11系列納米定位臺采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源，可以實現1~3維110μm的精密運動。 該系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本， 閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環壓電控制器可以實時對位移進行精密調整，實現納米級的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺的響應速度非常快，配套E52系列壓電控制器可實現0.8ms的階躍時間。