3.二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad運動方式  

   頻率負(fù)載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

  高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性  

   結(jié)構(gòu)原理  

P31系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

壓電促動器、導(dǎo)向機構(gòu)及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設(shè)計將慣性zui小化，允許25mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍（可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad），且具有非常快的響應(yīng)速度，在毫秒級范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài)，P31還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器（SGS）實現(xiàn)了的位置控制，具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度，通常為滿行程的0.2%。

壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運動）是基于平行運動學(xué)設(shè)計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(gòu)（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供zui高可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。

  可定制鏡片轉(zhuǎn)接座  

  驅(qū)動控制  

P31壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90^。相差輸入，通過控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。

  應(yīng)用  

  產(chǎn)品測試  

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光學(xué)濾波器/開關(guān)  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 • 干涉