N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的重復(fù)定位精度。

N12.XY二維XY軸壓電掃描臺中心具有通孔，zui大掃描范圍可達(dá)110μm，閉環(huán)掃描臺精度更高，直線運(yùn)動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域。

特性

       • 二維XY向運(yùn)動，zui大行程110μm/軸                     • zui大承載0.7kg                     • 臺體中心方形通孔，尺寸為45×45mm                    • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高                    • 開/閉環(huán)可選

應(yīng)用：

晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像

哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，主要服務(wù)于制造精密設(shè)備的的客戶。經(jīng)過二十多年的快速發(fā)展，公司已獲得*認(rèn)定，獲得產(chǎn)品30多項并取得軟件著作權(quán)、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設(shè)備制造企業(yè)，并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點實驗室建立了合作伙伴關(guān)系，已經(jīng)成為中國專業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。

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哈爾濱芯明天科技有限公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、生命科學(xué)、精密加工設(shè)備、新藥設(shè)計與醫(yī)療技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲技術(shù)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動化、航空航天、圖像處理等領(lǐng)域。芯明天正在為中國的工業(yè)自動化、國防、航天事業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)著自己的力量。