P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。

P12.X/Z-D3為一維X或Z軸運(yùn)動壓電掃描臺，結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸70×70×24mm，zui大行程可達(dá)110μm。壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率，毫秒級的響應(yīng)時間，臺體中心中孔尺寸達(dá)Φ35mm，非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。

特性

       • 一維X/Z向運(yùn)動，zui大行程110μm/軸                  • zui大承載0.7kg    

      • 通孔尺寸：Ø35mm(Ø25mm可選 )                     • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高         • 響應(yīng)速度快

      應(yīng)用

       • 圖像處理與穩(wěn)定             • 精密定位            •光學(xué)捕獲            • 掃描顯微

        • 干涉/計(jì)量                    • 半導(dǎo)體測量         • 表面檢測            • 光學(xué)計(jì)量

        • 光學(xué)顯微成像                • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定        • 生物技術(shù)         • 表面結(jié)構(gòu)分析

P12全系列產(chǎn)品

P12系列壓電掃描臺包括X/XY/XZ/XYZ四種運(yùn)動結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。同時，P12具有兩種通孔直徑可供選擇，分別為25mm、35mm。

中孔直徑25mm版本：

中孔直徑35mm版本：