P13系列壓電納米定位臺為二維XY、三維XYZ壓電平臺，臺體采用平行運(yùn)動學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，zui大位移為 40μm/軸。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。

典型應(yīng)用

• 2D/3D掃描系統(tǒng)    • 光路調(diào)整
• 半導(dǎo)體技術(shù)    • 微操作
• 原子力顯微鏡    • 納米定位

P13系列壓電納米定位臺特點(diǎn)：

• 2~3維運(yùn)動

• 位移行程40μm

• 體積小巧

• 亞毫秒響應(yīng)時間

二、三維平移臺

P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ 軸兩個規(guī)格型號。 

超小體積、無機(jī)械間隙、高分辨率 

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計原理，平行運(yùn)動無機(jī)械間隙，該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率，運(yùn)動直線性好。P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應(yīng)變計傳 感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應(yīng)用的 理想選擇。 

閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖

P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。

技術(shù)參數(shù)

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。