XP-611系列壓電納米定位臺為一維X軸或Z軸壓電平移臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現X軸或Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構無摩擦、無后坐力。可選擇閉環版本定位精度高，是一維精密定位與掃描的理想選擇。

典型應用

• 顯微成像    • 納米定位
• 生物技術    • 半導體技術
• 精密定位    • 微操作

技術參數

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

XP-611系列壓電納米定位臺特點：

• 一維X軸或Z軸

• 小體積

• 位移行程100μm

• 毫秒級響應速度

• 納米級定位精度

一維X軸或Z軸平移臺 

XP-611系列壓電納米定位臺，一維X或Z軸精密直線運動。 

高精度、高可靠性與*性滿足工業應用需求芯明天XP-611系列定位臺優異的設計結構，小巧的體積，100μm的行程，內置高可靠性壓電陶瓷，裝配高精度傳感器，定位精度可以達到納米級，產品*性良好，已經應用于工業精密自動化加工領 域。

 體積小巧、穩定時間短、性價比高

XP-611系列壓電納米定位臺采用機構放大設計原 理，體積小巧、結構緊湊，XP-611 .X的尺寸僅為 35×35×20mm，易于與其他設備集成安裝。

該系列定位臺采用機構放大原理，zui大位移可達 100μm，空載諧振頻率高、響應速度快，100μm的 階躍時間為0.8ms，該系列產品以其高可靠性，高性 價比等特點深得工業型用戶的青睞。