XP-62系列壓電納米定位臺(tái)是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高 分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺(tái)適用于精密加工等領(lǐng)域。

XP-62系列壓電納米定位臺(tái)典型應(yīng)用

• 掃描顯微    • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 生物技術(shù)    • 微加工/精密控制

XP-62系列壓電納米定位臺(tái)特點(diǎn)：

• 1~3維自由組合

• zui大行程68μm

• zui大承載10kg

• 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性
XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī) 構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，具有高剛度、高頻響等特 點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz， 適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加 工等。
XP-62X系列壓電平臺(tái)內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓 電陶瓷，平臺(tái)采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī) 構(gòu)，無磨損、免維護(hù)，提供*的穩(wěn)定性。
該產(chǎn)品易于與其他宏動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品集成配套，實(shí)現(xiàn)更大 行程的精密定位。

 宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

  XP-623.XY二維壓電納米定位臺(tái)配套二維宏動(dòng)臺(tái)，應(yīng)用于精密加工中。

XP-62系列壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。