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    首頁 > 技術文章 > P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達毫米！
    
    
    
      
    P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達毫米！
    
    
    
	
    更新時間： 2024-11-04 
    
    
    P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運動壓電平臺。它的內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動，配合無摩擦柔性鉸鏈機構，利用機構放大的驅動形式，實現大行程精密定位運動，行程可高達1mm。它的負載可達1.5kg，在行程大的同時兼具了大負載的特點。該產品可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。可廣泛應用于光學、半導體、航空航天、生物醫療等領域。產品外觀如下圖所示。


    圖片

    產品特點
    Z向位移1000μm
    承載1.5kg
    毫秒級響應時間
    閉環重復定位精度高
    可選閉環傳感器
    真空版本可選

    產品應用
    光學測量
    光學檢測
    顯微掃描
    激光干涉
    生物科技
    納米操控技術
    納米光刻
    納米測量

    技術參數

    型號
    P60.Z1000S/K-C
    運動方向
    Z
    驅動控制
    1路傳感/1路驅動
    標稱行程范圍（0~120V）
    800µm
    Max.行程范圍（0~150V）
    1000µm
    傳感器類型
    SGS/-
    分辨率
    35nm/10nm
    閉環重復定位精度
    0.1%F.S./-
    空載諧振頻率
    80Hz
    承載能力
    水平安裝
    1.5kg
    立式安裝
    0.02kg
    倒置安裝
    0.05kg
    靜電容量
    72μF
    材質
    鈦、鋁
    重量
    ＜1.3kg


    配套控制器
    E53.D系列壓電控制器非常適用于驅動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區域，可迅速導出產生的熱量，上位機軟件支持二次開發，體積小巧，易于集成。

    圖片


    
    
    
  
    

    




    
  
    
    
    
      
    
      
    
        
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