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    P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺,行程可達毫米!

    更新時間: 2024-11-04
    P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運動壓電平臺。它的內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,配合無摩擦柔性鉸鏈機構,利用機構放大驅動形式實現大行程精密定位運動,行程可高達1mm。它的負載可達1.5kg,在行程大的同時兼具了大負載的特點。該產品可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。可廣泛應用于光學、半導體、航空航天、生物醫療等領域。產品外觀如下圖所示。



    圖片

    產品特點

    Z向位移1000μm
    承載1.5kg
    毫秒級響應時間
    閉環重復定位精度高
    可選閉環傳感器
    真空版本可選

    產品應用

    光學測量
    光學檢測
    顯微掃描
    激光干涉
    生物科技
    納米操控技術
    納米光刻
    納米測量

    技術參數


    型號
    P60.Z1000S/K-C
    運動方向
    Z
    驅動控制
    1路傳感/1路驅動
    標稱行程范圍(0~120V)
    800µm
    Max.行程范圍(0~150V)
    1000µm
    傳感器類型
    SGS/-
    分辨率
    35nm/10nm
    閉環重復定位精度
    0.1%F.S./-
    空載諧振頻率
    80Hz
    承載能力
    水平安裝
    1.5kg
    立式安裝
    0.02kg
    倒置安裝
    0.05kg
    靜電容量
    72μF
    材質
    鈦、鋁
    重量
    <1.3kg



    配套控制器

    E53.D系列壓電控制器非常適用于驅動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器,體積小巧,外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3,重量為350g,供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區域,可迅速導出產生的熱量,上位機軟件支持二次開發,體積小巧,易于集成。

    圖片



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