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H32.TR4S系列三軸角度運動高精度壓電偏擺/旋轉臺

更新時間: 2024-11-07

H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺其內部采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計可實現θx、θy偏擺及θz旋轉三維運動。它具有響應速度快、閉環定位精度高負載大等特點因其優異的性能,可在模擬振動環境中作為模擬振動臺,完成高精度、快速的微振動控制,從而滿足用戶對精密裝備控制精度測試分析以驗證和提高精密儀器與裝備的性能。產品外觀如下圖所示。

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產品特點

θx、θy偏擺及θz旋轉

θx、θy偏擺角度可達4.6mrad/軸

θz旋轉角度可達3.2mrad

分辨率可達0.05μrad

承載可達1kg

閉環版本定位精度高

亞毫秒響應時間

產品應用

振動試驗

空間擾動模擬系統

干涉/計量

大負載運動試驗

技術參數

型號

H32.TR4S/K

運動自由度

θx、θy、θz

驅動控制

4路驅動,3路傳感/4路驅動

標稱偏擺角度(0~120V)

θxθy: 3.7mrad

θz: 2.6mrad

Max.偏擺角度(0~150V)

θxθy: 4.6mrad

θz: 3.2mrad

傳感器類型

SGS/-

分辨率

θxθy: 0.15/0.07μrad

θz: 0.1/0.05μrad

閉環線性度

可達0.03%F.S.

閉環重復定位精度

可達0.02%F.S.

空載諧振頻率

θxθy: 250Hz

θz: 560Hz

帶載諧振頻率@1kg

θxθy: 140Hz

θz: 200Hz

靜電容量

θxθy: 14.4μF

θz: 10.8μF

階躍時間

30ms@1kg/10ms

承載能力

水平安裝

1kg

立式安裝

0.5kg

倒置安裝

0.5kg

材質

不銹鋼、鋁合金

重量(不含線)

2240g

配套控制器

E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅動H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電,輸出電壓為0~120V或0~150V,開閉環可選,模擬及數字控制,可通過串口、USB或網口進行數字通信,且體積小,非常易于集成。

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