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    產(chǎn)品名稱:直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺

    產(chǎn)品型號:N63XY

    產(chǎn)品報價:

    產(chǎn)品特點:直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺,一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理,壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu),可實現(xiàn)8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環(huán)版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應(yīng)用。

    更新日期:2025-02-23

    N63XY直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺的詳細資料:

    直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺,一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理,壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu),可實現(xiàn)8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環(huán)版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應(yīng)用。

     

    直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺特性

           • 二維XY向運動,zui大行程8μm/軸                     • zui大承載3kg                     

          • 臺體中心方形通孔,尺寸為Ø62mm                   • 內(nèi)置高性能壓電陶瓷                 

          • 開環(huán)、閉環(huán)可選

     

    外觀形狀

    產(chǎn)品運動示意圖

    臺體采用直驅(qū)式結(jié)構(gòu)設(shè)計,出力大

     

    一體式超薄結(jié)構(gòu)、高分辨率、閉環(huán)精度高

    頻率負載曲線

    壓電陶瓷嵌套式一體結(jié)構(gòu)

    N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺,平臺采用柔性鉸鏈導(dǎo)向壓電陶瓷直驅(qū)的機構(gòu)設(shè)計,具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點,使其具有超高的分辨率達0.2nm。

    可選擇內(nèi)置高性能傳感器實現(xiàn)8×8μm范圍內(nèi)超高的定位精度。

    N63壓電掃描臺由于具有超薄的結(jié)構(gòu),臺體僅為17mm,中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。

    N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)設(shè)計原理,嵌套式機構(gòu)使其具有非常良好的動態(tài)性能。

     

    平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動

    精準(zhǔn)圓形驅(qū)動控制,可以通過精切定位XY平臺的每一軸,采用正弦波90°相差輸入,也可以通過PID修正位移進行調(diào)整,根據(jù)頻率幅值以及負載使得驅(qū)動控制平穩(wěn)精確。

         

    應(yīng)用

           • 圖像處理與穩(wěn)定  • 精密定位  •光學(xué)捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計量  • 半導(dǎo)體測試  • 表面檢測  • 光學(xué)計量  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

     
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