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    產品名稱:芯明天放大機構式壓電位移臺

    產品型號:P79Z

    產品報價:

    產品特點:芯明天放大機構式壓電位移臺 P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達210µm,定位分辨率可達3nm。

    P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調節,階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的精確調整,定位精度達納米量級。

    更新日期:2025-02-23

    P79Z芯明天放大機構式壓電位移臺的詳細資料:

    芯明天放大機構式壓電位移臺

    P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達210µm,定位分辨率可達3nm。

     芯明天放大機構式壓電位移臺P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調節,階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的精確調整,定位精度達納米量級。

     

    兩款規格型號、開環/閉環可選

    P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇,分別為110μm及210μm,可根據精確調整的運動范圍進行選擇。

    另外,P79系統可提供開環及閉環版本。開環版本定位速度更快,且分辨率更高;對于有定位精度及穩定性需求的應用,可以選擇配置SGS閉環傳感器,裝配在平臺的位置,提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移,確保了定位精度。

     

    特性

    • 一維Z向運動,zui大行程210μm            • zui大承載2kg          • 通孔尺寸:128.5×86.5mm                  

    • 開環、閉環可選                                 • 閉環重復定位精度高

     

    外觀形狀

    產品運動示意圖

    臺體采用機構放大式驅動設計,行程范圍大

     

    大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、超精密導向機構

    頻率負載曲線

    表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命

    P79系列壓電掃描臺具有方形通孔,通孔尺寸為128.5×86.5mm,這種大通孔設計主要是為了滿足各種樣品夾持結構,如多井控制盤。

    壓電陶瓷驅動以及無摩擦柔性鉸鏈結構使其具有超快的響應速度,Z軸步進速度和穩定時間僅為馬達驅動的1/20,大大提高了成像捕獲能力和生產能力。

    壓電掃描臺采用高*性、高穩定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環境的能力非常高且無漏電現象。

     

    應用

           • 熒光顯微  • 共焦顯微  • 精密定位/樣品檢測  •光學捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計量  • 自動聚焦系統  • 表面檢測/3D成像  • 光學計量  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物科技

     
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