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    產品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

    產品型號:N12

    產品報價:

    產品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯式平移掃描臺,臺體中心方形通孔,內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優 化結構,具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點,平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋,實現滿行程0.04%的 重復定位精度。

    更新日期:2025-02-23

    N12芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

       芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯式平移掃描臺,臺體中心方形通孔,內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優 化結構,具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點,平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋,實現滿行程0.04%的 重復定位精度。

    芯明天放大機構式壓電掃描臺N12壓電掃描臺特性

    • 大位移110μm

    • 大承載0.7kg

    • 臺體中心方形通孔

    • 閉環重復定位精度高 • 開環閉環可選

    1~3維掃描臺

       N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規格型號。

    閉環傳感定位精度高

        N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器,對位置實時檢測 并反饋到壓電控制器,控制器通過PID算法調整電壓修正位移,從 而實現高精度定位。

        N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應用 于光學顯微成像,實現XYZ軸精密掃描。

    小體積、大位移、中心通孔

        N12系列納米定位臺體積非常小巧,位移可達110μm。 *的平行運動學設計原理,使得平臺可以實現XYZ軸高速 精密運動。這款產品的應用非常廣泛,從光學研究到工業化 OEM系統等。

        該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優異的直線性使其成為光學、激光領域納米級精密定位應用。

    N12壓電掃描臺典型應用

     掃描顯微

    • 共焦顯微

    • 晶圓定位

    • 表面測量

    • 圖像處理與穩定

    • 半導體測試

    N12壓電掃描臺技術參數:

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    N12.X100S N12.X100K

     

    N12.Z100S N12.Z100K

     

    N12.XY100S N12.XY100K

     

    N12.XZ100S N12.XZ100K

     

    N12.XYZ100S N12.XYZ100K

     

    單位

    運動自由度

    X

    Z

    X、Y

    X、Z

    X、Y、Z

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    80

    80

    80/軸

    80/軸

    80/軸

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    110

    110

    110/軸

    110/軸

    110/軸

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    45×45

    45×45

    45×45

    45×45

    45×45

    mm

    閉/開環分辨率

    7/4

    7/4

    7/4

    7/4

    7/4

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    0.1/-

    0.1/-

    0.1/-

    0.15/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.04/-

    0.04/-

    0.05/-

    0.05/-

    0.1/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <10

    <10

    <15

    <15

    <20

    µrad

    推/拉力

    30/10

    30/10

    25/8

    25/8

    20/4

    N

    運動方向剛度

    0.3

    0.3

    X0.25/Y0.3

    X0.3/Z0.25

    X0.3/Y0.25/Z0.2

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    230

    200

    X170/Y200

    X200/Z150

    X200/Y150/Z120

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    10/0.8

    10/0.8

    15/0.8

    15/0.8

    30/0.8

    ms±20%

     

    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    60

    65

    55

    50

    30

     

    Hz±20%

    行程

    8

    8

    7

    6

    4

    大承載

    0.7

    0.7

    0.7

    0.7

    0.5

    kg

    靜電容量

    1.8

    1.8

    1.8/軸

    1.8/軸

    1.8/軸

    μF±20%

    材質

    鋼、鋁

    鋼、鋁

    鋼、鋁

    鋼、鋁

    鋼、鋁

     

    重量

    240

    240

    290

    290

    350

    g±5%

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

     
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