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    產品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

    產品型號:P17

    產品報價:

    產品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60&#215;60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

    更新日期:2025-02-23

    P17芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

       芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

    芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺特性

    •大位移210μm

    • 大承載1kg

    • 通孔尺寸:60×60mm

    • 閉環重復定位精度高 • 響應速度快

    XY二維掃描臺

          P17二維壓電掃描臺中心大通孔,滿行程位移210μm。

    大通孔、大行程、穩定性好、響應速度快

       P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度 掃描臺,可以實現XY軸210×210μm的位移行程,優異 的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。

        閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列 閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心 60×60mm大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微 操作等應用。

    P17壓電掃描臺典型應用

    • 圖像處理與穩定    
    • 掃描顯微
    • 干涉/計量    • 表面檢測
    • 晶圓定位    • 微操作

    應用實例
        P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經成功應用于半導體測試、表面結構分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

    P17壓電掃描臺技術參數:

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    P17.XY200S P17.XY200K

     

    單位

    運動自由度

    X、Y

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    150/軸

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    210/軸

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    60×60

    mm

    閉/開環分辨率

    8/5

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.05/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <15

    µrad

    推/拉力

    40/15

    N

    運動方向剛度

    X0.2/Y0.2

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    X240/Y400

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    30/5

    ms±20%

     

    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    50

     

    Hz±20%

    行程

    10

    大承載

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/軸

    μF±20%

    材質

    鋼、鋁

     

    重量

    660

    g±5%

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

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