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    產品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

    產品型號:XP-780系列

    產品報價:

    產品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,實現X軸大220μm的 位移,可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式 實現二維、三維運動。

    更新日期:2025-02-23

    XP-780系列芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

    芯明天放大機構式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,實現X軸zui大220μm的 位移,可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式 實現二維、三維運動。

    芯明天放大機構式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺特性

    • zui大位移220μm

    • zui大承載5kg

    • 通孔尺寸:25×25mm

    • 閉環重復定位精度高 • 開/閉環可選

    大行程、高精度、大負載
        XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構放大設計原理, 可以實現zui大220μm的位移行程,無摩擦無空回的柔性導向 機構使其具有超高的分辨率,選擇配置閉環傳感器可實現納 米級的定位精度,臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。
       優異的結構設計使其具有非常高的剛度,承載能力大, 可帶載5kg的樣品作精密定位

    1~3維掃描臺

             XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規格 型號,可以自由疊加組合。

    XP-780系列壓電掃描臺典型應用


    • SPM掃描顯微鏡    • 干涉
    • 掩模/晶圓定位    • 計量
    • 生物技術    • 表面結構分析

    XP-780系列壓電掃描臺技術參數:

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    XP-780.XS XP-780.XK

     

    單位

    運動自由度

    X

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    160

    μm±20%

    zui大行程范圍(-20~150V)

    220

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    25×25

    mm

    閉/開環分辨率

    10/5

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.05/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <50

    µrad

    推/拉力

    80/40

    N

    運動方向剛度

    0.5

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    200

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    20/5

    ms±20%

     

    閉環空載工作頻率

    10%行程

    50

     

    Hz±20%

    行程

    15

    zui大承載

    5

    kg

    靜電容量

    11

    μF±20%

    材質

     

    重量

    240

    g±5%

     

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

     
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