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    產品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

    產品型號:P78Z

    產品報價:

    產品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 P78壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心方形通孔尺寸為64&#215;64mm,放大機構內置高性能壓電陶瓷,可以實現 Z軸210μm或300μm的位移行程,優異的柔性鉸鏈導向機構具有超高的定位精度,適用于需要大行程精密定位的應用領域。

    更新日期:2025-02-23

    P78Z芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

    芯明天放大機構式壓電掃描臺?     

    P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm,放大機構內置高性能壓電陶瓷,可以實現 Z軸210μm或300μm的位移行程,優異的柔性鉸鏈導向機構具有超高的定位精度,適用于需要大行程精密定位的應用領域。

    P78壓電掃描臺特性:

     Z軸運動           開環閉環可選         大行程300μm     閉環重復定位精度高   

    芯明天放大機構式壓電掃描臺典型應用           

    • 顯微成像 • 表面檢測

    • 干涉/計量 • 精密定位

    • 生物技術 • 微操作

    大通孔、大位移、高分辨、高精度

    P78系列壓電掃描臺,采用機構放大設計原理,可以實現 Z軸210μm或300μm的位移行程。優異的柔性鉸鏈導向機構 采用有限元分析進行優化實現納米級的分辨率、毫秒級的響應 時間。

    P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環傳感器,對位移實現 實時監測并反饋給閉環壓電控制器,實現納米級精密控制。掃 描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm,適用于干涉、掃描、表面 檢測等應用。

    閉環重復定位精度高

    P78. Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環重復定位精度為 0.05%。

    P78壓電掃描臺技術參數:

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    P78.Z200S P78.Z200K

     

    P78.Z300S P78.Z300K

     

    單位

    運動自由度

    Z

    Z

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    150

    210

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    210

    300

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    64×64

    64×64

    mm

    閉/開環分辨率

    7/3

    10/5

    nm

    閉環線性度

    0.1/-

    0.15/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.04/-

    0.05/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <20

    <30

    µrad

    推/拉力

    50/8

    30/5

    N

    運動方向剛度

    0.35

    0.15

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    300

    150

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    15/3.2

    30/3.2

    ms±20%

     

    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    80

    50

     

    Hz±20%

    行程

    15

    10

    大承載

    1.5

    0.5

    kg

    靜電容量

    7.2

    7.2

    μF±20%

    材質

     

    重量

    340

    340

    g±5%

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

     

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