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    產品名稱:P18系列壓電掃描臺

    產品型號:P-18系列

    產品報價:

    產品特點:P18系列壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為&amp;amp;amp;#216;35mm,多種位移行程及規格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應用。

    更新日期:2025-02-24

    P-18系列P18系列壓電掃描臺的詳細資料:

       P18系列壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應用。

    特性:

    • 大位移370μm

    • 大承載3.5kg

    • 通孔直徑:Ø35mm

    1~3維掃描臺

        P18壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式,可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

    典型應用

    • 閉環重復定位精度高 • 響應速度快

    • 圖像處理與穩定 • 掃描顯微

    • 干涉/計量 • 表面檢測

    • 半導體測量 • 光學計量

    大位移、大承載、高剛度、高頻響

       P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動,可以 實現大370μm的掃描范圍,運動直線性好,可選擇閉環版 本獲得優異的線性度與重復定位精度。

       P18采用*的結構設計,具有大剛度、大出力、大承 載等特點,大承載達3.5kg,空載諧振頻率達600Hz,配 套芯明天大功率控制器響應時間高可達5ms,是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用的選擇。

    在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動, 從而優化鏡片讀取的信息。

    芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用 于納米光刻實驗。

     

    技術參數:

     

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    P18.X200S P18.X200K

     

    P18.X300S P18.X300K

     

    P18.XY200S P18.XY200K

     

    P18.XY300S P18.XY300K

     

    P18.XYZ200S P18.XYZ200K

     

    單位

    運動自由度

    X

    X

    X、Y

    X、Y

    X、Y、Z

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    200

    300或±150

    200/軸

    300或±150/軸

    200/軸

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    280

    370或±185

    280/軸

    370或±185/軸

    280/軸

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    Ø35

    Ø35

    Ø35

    Ø35

    Ø35

    mm

    閉/開環分辨率

    8/5

    10/5

    8/5

    10/5

    8/5

    nm

    閉環線性度

    0.2/-

    0.2/-

    0.2/-

    0.2/-

    0.2/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.15/-

    0.1/-

    0.15/-

    0.1/-

    0.15/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <10

    <15

    <10

    <15

    <15

    µrad

    推/拉力

    60/20

    150/150

    60/20

    150/150

    30/10

    N

    運動方向剛度

    0.3

    0.5

    X0.3/Y0.3

    X0.5/Y0.5

    X0.1/Y0.1/Z0.1

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    500

    600

    X200/Y450

    X250/Y500

    X300/Y200/Z120

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    30/5

    30/10

    50/5

    50/10

    50/5

    ms±20%

     

    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    100

    50

    50

    40

    30

     

    Hz±20%

    行程

    30

    15

    15

    10

    5

    大承載

    2

    3.5

    1.5

    3

    1

    kg

    靜電容量

    11

    21

    11/軸

    21/軸

    11/軸

    μF±20%

    材質

     

    重量

    200

    220

    360

    380

    600

    g±5%

     

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

     
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