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    產品名稱:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,80&amp;amp;amp;amp;#215;80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

    更新日期:2025-02-24

    P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺的詳細資料:

    P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

    特性:

    •  θx, θy偏擺運動 • 開環/閉環可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄


    應用實例

    P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光等領域。

    典型應用

    • 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲

    • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統

    • 微操作 • 掩模與晶片位置調整

    閉環傳感精度高

    P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限 元分析優化,使角度偏移達到小,無空回、無摩擦。

    采用壓電陶瓷驅動實現大偏轉范圍±1.1mrad,分 辨率高達0.05μrad,可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S. 的重復定位精度。

    臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、 計量、定位等應用的選擇。

    負載大鏡片

    P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透 射光的應用,負載后仍可高動態高精度的掃描。


    推薦控制器

    E01

    E72

    E70


    頁碼 157

    頁碼 163

    頁碼 167





    3路輸出

    3路輸出

    3路輸出


    上位機通信、模擬、旋鈕

    模擬、上位機通信

    模擬與數字控制


    開環/閉環

    開環/閉環

    開環/閉環


    平均功率7W/通道

    平均功率6W/通道

    平均功率5W/通道


    P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺技術參數:


    型號

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

    P54.T2S P54.T2K


    單位

    運動自由度

    θx, θy


    標稱偏擺角度 (0~+120V)

    ±0.8/ 軸

    mrad±20%

    大偏擺角度 (-20~+150V)

    ±1.1/ 軸

    mrad±20%

    傳感器類型

    SGS/-


    閉/開環偏擺分辨率

    0.25/0.05

    μrad

    閉環線性度

    0.2/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.1/-

    %F.S.

    推/拉力

    40/8

    N

    運動方向剛度

    0.5

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    300

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    20/3.5

    ms±20%


    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    50


    Hz±20%

    行程

    15

    大承載

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/ 軸

    μF±20%

    材質

    鋁、鋼


    重量

    510

    g±5%

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。


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